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HIVAC F-5(替代道康寧DC705)是一種無色、低分子量的苯甲基硅油,是專用于高真空和超高真空的擴(kuò)散泵油。具有優(yōu)異的耐氧化性、熱穩(wěn)定性、耐化學(xué)藥品性,不會(huì)出現(xiàn)類似石油類泵用油以及脂肪酸酯類的泵用油因?yàn)榧訜嵋约皻怏w吸附造成的熱裂解現(xiàn)象。也不會(huì)因?yàn)榧訜岫l(fā)生氧化,生成酸、焦油、瀝青類的物質(zhì)。 因此,HIVAC F-5即使是長期使用也能夠保證真空泵的穩(wěn)定運(yùn)行。 HIVAC F-5 的真空度達(dá)到 10-9~10-10Torr
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